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一种三甲基铝的安全输送装置.pdf

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一种 甲基 安全 输送 装置
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摘要
申请专利号:

CN201610330689.3

申请日:

2016.05.18

公开号:

CN106006525A

公开日:

2016.10.12

当前法律状态:

实审

有效性:

审中

法?#19978;?#24773;: 实质审查的生效IPC(主分类):B67D 7/02申请日:20160518|||公开
IPC分类号: B67D7/02(2010.01)I; B67D7/72(2010.01)I; B67D7/78(2010.01)I; B67D7/32(2010.01)I 主分类号: B67D7/02
申请人: 上海正帆科技股份有限公司
发明人: 龚小雷; 潘高鹏; 李东升
地址: 201108 上海市闵行区莘庄工业区春中路56号
优?#28909;ǎ?/td>
专利代理机构: 上海申汇专利代理有限公司 31001 代理人: 翁若莹;王婧
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法律状态
申请(专利)号:

CN201610330689.3

授权公告号:

|||

法律状态公告日:

2016.11.09|||2016.10.12

法律状态类型:

实质审查的生效|||公开

摘要

本发明提供了一种三甲基铝的安全输送装置,其特征在于,包括三甲基铝源瓶,所述的三甲基铝源瓶分别连接第一推送气体入口管路、第一三甲基铝源出口管路、第一吹扫气源入口管路和第一排放出口管路。本发明能够彻底消除安全隐患,保证三甲基铝源供应的纯度,保证压力输出的稳定性。

权利要求书

1.一种三甲基铝的安全输送装置,其特征在于,包括三甲基铝源瓶(1),
所述的三甲基铝源瓶(1)分别连接第一推送气体入口管路(1-5)、第一三甲基
铝源出口管路(1-8)、第一吹扫气源入口管路(1-6)和第一排放出口管路(1-7)。
2.如权利要求1所述的三甲基铝的安全输送装置,其特征在于,所述的三
甲基铝源瓶(1)具有推送气体进出口和三甲基铝进出口,第一推送气体入口管
路(1-5)连接第一手动阀(91)的第一端口,第一手动阀(91)的第二端口连
接第一减压阀(31)的第一端口、第一减压阀(31)的第二端口连接第一过滤器
(81)的进口,第一过滤器(81)的出口连接第一压力表(41)的第一端口、第
一压力表(41)的第二端口连接第二单向阀(62)的进口,第二单向阀(62)的
出口连接第一气动阀(21)的第一端口,第一气动阀(21)的第二端口连接第一
压力传感器(51)和第一球阀(11)的第一端口,第一球阀(11)的第二端口连
接三甲基铝源瓶(1)的推送气体进出口,三甲基铝源瓶(1)的三甲基铝进出口
连接第二球阀(12)的第一端口,第二球阀(12)的第二端口连接源气动阀(101)
的第一端口,源气动阀(101)的第二端口连接第三气动阀(23)的第一端口,
第三气动阀(23)的第二端口连接第一三甲基铝源出口管路(1-8)。
3.如权利要求2所述的三甲基铝的安全输送装置,其特征在于,所述的第
一吹扫气源入口管路(1-6)连接第二手动阀(92)的第一端口,第二手动阀(92)
的第二端口连接第一单向阀(61)的入口,第一单向阀(61)的出口连接第二减
压阀(32)的第一端口,第二减压阀(32)的第二端口连接第二过滤器(82)的
进口,第二过滤器(82)的出口连接第二压力表(42)的第一端口,第二压力表
(42)的第二端口连接过流开关(102)的第一端口,过流开关(102)的第二端
口连接第六气动阀(26)的第一端口和第七气动阀(27)的第一端口,第七气动
阀(27)的第二端口连接第二压力传感器(52)的第一端口和第八气动阀(28)
的第一端口,第六气动阀(26)的第二端口和第八气动阀(28)的第二端口连接
第一排放出口管路(1-7),第二压力传感器(52)的第二端口连接第二气动阀(22)
的第一端口,第二气动阀(22)的第二端口连接源气动阀(101)的第二端口;
所述的第一球阀(11)的第一端口连接第四气动阀(24)的第一端口,第四气动
阀(24)的第二端口连接第九气动阀(29)的第一端口,第九气动阀(29)的第
二端口连接第一排放出口管路(1-7)。
4.如权利要求3所述的三甲基铝的安全输送装置,其特征在于,所述的源
气动阀(101)的第二端口连接第十气动阀(20)的第一端口,第十气动阀(20)
的第二端口连接备用三甲基铝源入口管路(1-9),备用三甲基铝源入口管路(1-9)
连接第三手动阀(93)的第一端口,第三手动阀(93)的第二端口连接第一三甲
基铝源出口管路(1-8)。
5.如权利要求1所述的三甲基铝的安全输送装置,其特征在于,还包括第
一缓冲罐(3)和第二缓冲罐(4),所述的第一缓冲罐(3)和第二缓冲罐(4)
皆连接第二推送气体入口管路(2-5)、第二三甲基铝源出口管路(2-8)和三甲
基铝源入口管路(2-9);所述的三甲基铝源入口管路(2-9)连接第一三甲基铝
源出口管路(1-8),第二三甲基铝源出口管路(2-8)连接终端设备。
6.如权利要求5所述的三甲基铝的安全输送装置,其特征在于,所述的第
一缓冲罐(3)和第二缓冲罐(4)皆具有推送气体进出口和三甲基铝进出口,第
二推送气体入口管路(2-5)连接第一手动阀(91)的第一端口,第一手动阀(91)
的第二端口连接第一减压阀(31)的第一端口、第一减压阀(31)的第二端口连
接第一过滤器(81)的进口,第一过滤器(81)的出口连接第一压力表(41)的
第一端口、第一压力表(41)的第二端口连接第二单向阀(62)的进口,第二单
向阀(62)的出口连接第一气动阀(21)的第一端口,第一气动阀(21)的第二
端口连接第一压力传感器(51)、第一膜阀(13)的第一端口和第三膜阀(15)
的第一端口,第一膜阀(13)的第二端口连接第一缓冲罐(3)的推送气体进出
口,第三膜阀(15)的第二端口连接第二缓冲罐(4)的推送气体进出口;第一
缓冲罐(3)的三甲基铝进出口连接第二膜阀(14)的第一端口,第二缓冲罐(4)
的三甲基铝进出口连接第四膜阀(16)的第一端口,第二膜阀(14)的第二端口
和第四膜阀(16)的第二端口连接源气动阀(101)的第一端口,源气动阀(101)
的第二端口连接第三气动阀(23)的第一端口,第三气动阀(23)的第二端口连
接第二三甲基铝源出口管路(2-8)。
7.如权利要求5所述的三甲基铝的安全输送装置,其特征在于,所述的第
一缓冲罐(3)和第二缓冲罐(4)还连接第二吹扫气源入口管路(2-6)和第二
排放出口管路(2-7)。
8.如权利要求7所述的三甲基铝的安全输送装置,其特征在于,所述的第
二吹扫气源入口管路(2-6)连接第二手动阀(92)的第一端口,第二手动阀(92)
的第二端口连接第一单向阀(61)的入口,第一单向阀(61)的出口连接第二减
压阀(32)的第一端口,第二减压阀(32)的第二端口连接第二过滤器(82)的
进口,第二过滤器(82)的出口连接第二压力表(42)的第一端口,第二压力表
(42)的第二端口连接过流开关(102)的第一端口,过流开关(102)的第二端
口连接第六气动阀(26)的第一端口和第七气动阀(27)的第一端口,第七气动
阀(27)的第二端口连接第二压力传感器(52)的第一端口和第八气动阀(28)
的第一端口,第六气动阀(26)的第二端口和第八气动阀(28)的第二端口连接
第二排放出口管路(2-7),第二压力传感器(52)的第二端口连接第二气动阀(22)
的第一端口,第二气动阀(22)的第二端口连接源气动阀(101)的第二端口;
所述的第一膜阀(13)的第一端口和第三膜阀(15)的第一端口连接第四气动阀
(24)的第一端口,第四气动阀(24)的第二端口连接第九气动阀(29)的第一
端口,第九气动阀(29)的第二端口连接第二排放出口管路(2-7)。
9.如权利要求5所述的三甲基铝的安全输送装置,其特征在于,所述的源
气动阀(101)的第二端口连接第十气动阀(20)的第一端口,第十气动阀(20)
的第二端口连接三甲基铝源入口管路(2-9),三甲基铝源入口管路(2-9)连接
第三手动阀(93)的第一端口,第三手动阀(93)的第二端口连接第二三甲基铝
源出口管路(2-8)。
10.如权利要求5所述的三甲基铝的安全输送装置,其特征在于,所述
的三甲基铝源瓶(1)设于第一柜体(100)中,第一缓冲罐(3)和第二缓冲罐
(4)设于第二柜体(200)中,所述的第一柜体(100)和第二柜体(200)的顶
部皆设有控制器、自动风阀(201)、干粉灭火器(202)、红外火焰侦测器(203)
和高温探头(204),控制器与自动风阀(201)、干粉灭火器(202)、红外火焰侦
测器(203)和高温探头(204)连接。

说明书

一种三甲基铝的安全输送装置

技术领域

本发明涉及一种三甲基铝的安全输送装置,尤其涉及一种用于安全输送硅基
太阳能电池制备氧化膜所需的高纯三甲基铝源的输送方法,属于输送技术领域。

背景技术

近年,一些大的光伏电池制造公司研究在硅基太阳能电池表面增加氧化铝的
薄膜,以增加太阳能电池的转化效率。而制备氧化铝薄膜用到的一种基本原料就
是三甲基铝。三甲基铝是一种特殊的液态化学品,具有自燃性和毒性等危害特性,
并且具有爆炸的危险,因此,需要一种高纯三甲基铝的安全输送方法。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种满足行业要求的三甲基铝安全输送
装置,用于输送高纯三甲基铝。

为了解决上述技术问题,本发明提供了一种三甲基铝的安全输送装置,其特
征在于,包括三甲基铝源瓶,所述的三甲基铝源瓶分别连接第一推送气体入口管
路、第一三甲基铝源出口管路、第一吹扫气源入口管路和第一排放出口管路。

优选地,所述的三甲基铝源瓶具有推送气体进出口和三甲基铝进出口,第一
推送气体入口管路连接第一手动阀的第一端口,第一手动阀的第二端口连接第一
减压阀的第一端口、第一减压阀的第二端口连接第一过滤器的进口,第一过滤器
的出口连接第一压力表的第一端口、第一压力表的第二端口连接第二单向阀的进
口,第二单向阀的出口连接第一气动阀的第一端口,第一气动阀的第二端口连接
第一压力传感器和第一球阀的第一端口,第一球阀的第二端口连接三甲基铝源瓶
的推送气体进出口,三甲基铝源瓶的三甲基铝进出口连接第二球阀的第一端口,
第二球阀的第二端口连接源气动阀的第一端口,源气动阀的第二端口连接第三气
动阀的第一端口,第三气动阀的第二端口连接第一三甲基铝源出口管路。

更优选地,所述的第一吹扫气源入口管路连接第二手动阀的第一端口,第二
手动阀的第二端口连接第一单向阀的入口,第一单向阀的出口连接第二减压阀的
第一端口,第二减压阀的第二端口连接第二过滤器的进口,第二过滤器的出口连
接第二压力表的第一端口,第二压力表的第二端口连接过流开关的第一端口,过
流开关的第二端口连接第六气动阀的第一端口和第七气动阀的第一端口,第七气
动阀的第二端口连接第二压力传感器的第一端口和第八气动阀的第一端口,第六
气动阀的第二端口和第八气动阀的第二端口连接第一排放出口管路,第二压力传
感器的第二端口连接第二气动阀的第一端口,第二气动阀的第二端口连接源气动
阀的第二端口;所述的第一球阀的第一端口连接第四气动阀的第一端口,第四气
动阀的第二端口连接第九气动阀的第一端口,第九气动阀的第二端口连接第一排
放出口管路。

进一步地,所述的源气动阀的第二端口连接第五气动阀的第一端口,第五气
动阀的第二端口连接第一球阀的第一端口。

进一步地,所述的第一排放出口管路连接安全阀的第一端口,安全阀的第二
端口连接第二单向阀的入口。

进一步地,所述的源气动阀的第二端口连接第十气动阀的第一端口,第十气
动阀的第二端口连接备用三甲基铝源入口管路,备用三甲基铝源入口管路连接第
三手动阀的第一端口,第三手动阀的第二端口连接第一三甲基铝源出口管路。

优选地,所述的三甲基铝的安全输送装置还包括第一缓冲罐和第二缓冲罐,
所述的第一缓冲罐和第二缓冲罐皆连接第二推送气体入口管路、第二三甲基铝源
出口管路和三甲基铝源入口管路;所述的三甲基铝源入口管路连接第一三甲基铝
源出口管路,第二三甲基铝源出口管路连接终端设备。

更优选地,所述的第一缓冲罐和第二缓冲罐皆具有推送气体进出口和三甲基
铝进出口,第二推送气体入口管路连接第一手动阀的第一端口,第一手动阀的第
二端口连接第一减压阀的第一端口、第一减压阀的第二端口连接第一过滤器的进
口,第一过滤器的出口连接第一压力表的第一端口、第一压力表的第二端口连接
第二单向阀的进口,第二单向阀的出口连接第一气动阀的第一端口,第一气动阀
的第二端口连接第一压力传感器、第一膜阀的第一端口和第三膜阀的第一端口,
第一膜阀的第二端口连接第一缓冲罐的推送气体进出口,第三膜阀的第二端口连
接第二缓冲罐的推送气体进出口;第一缓冲罐的三甲基铝进出口连接第二膜阀的
第一端口,第二缓冲罐的三甲基铝进出口连接第四膜阀的第一端口,第二膜阀的
第二端口和第四膜阀的第二端口连接源气动阀的第一端口,源气动阀的第二端口
连接第三气动阀的第一端口,第三气动阀的第二端口连接第二三甲基铝源出口管
路。

更优选地,所述的第一缓冲罐和第二缓冲罐还连接第二吹扫气源入口管路和
第二排放出口管路。

进一步地,所述的第二吹扫气源入口管路连接第二手动阀的第一端口,第二
手动阀的第二端口连接第一单向阀的入口,第一单向阀的出口连接第二减压阀的
第一端口,第二减压阀的第二端口连接第二过滤器的进口,第二过滤器的出口连
接第二压力表的第一端口,第二压力表的第二端口连接过流开关的第一端口,过
流开关的第二端口连接第六气动阀的第一端口和第七气动阀的第一端口,第七气
动阀的第二端口连接第二压力传感器的第一端口和第八气动阀的第一端口,第六
气动阀的第二端口和第八气动阀的第二端口连接第二排放出口管路,第二压力传
感器的第二端口连接第二气动阀的第一端口,第二气动阀的第二端口连接源气动
阀的第二端口;所述的第一膜阀的第一端口和第三膜阀的第一端口连接第四气动
阀的第一端口,第四气动阀的第二端口连接第九气动阀的第一端口,第九气动阀
的第二端口连接第二排放出口管路。

更进一步地,所述的源气动阀的第二端口连接第五气动阀的第一端口,第五
气动阀的第二端口连接第一膜阀的第一端口和第三膜阀的第一端口。

更进一步地,所述的第二排放出口管路连接安全阀的第一端口,安全阀的第
二端口连接第二单向阀的入口。

更进一步地,所述的源气动阀的第二端口连接第十气动阀的第一端口,第十
气动阀的第二端口连接三甲基铝源入口管路,三甲基铝源入口管路连接第三手动
阀的第一端口,第三手动阀的第二端口连接第二三甲基铝源出口管路。

更优选地,所述的第一缓冲罐和第二缓冲罐中的一个处于供料至终端设备的
状态,另一个处于备用或是受料状态。

更优选地,所述的三甲基铝源瓶设于第一柜体中,第一缓冲罐和第二缓冲罐
设于第二柜体中,所述的第一柜体和第二柜体的顶部皆设有控制器、自动风阀、
干粉灭火器、红外火焰侦测器和高温探头,控制器与自动风阀、干粉灭火器、红
外火焰侦测器和高温探头连接。

更优选地,所述的三甲基铝源瓶、第一缓冲罐和第二缓冲罐各设于一个电子
秤上。

与现有技术相比,本发明的有益效果是:

1、本发明能够彻底消除安全隐患;

2、本发明用于输送高纯三甲基铝,能够保证三甲基铝源供应的纯度,保证
压力输出的稳定性;

3、本发明能够实现连续供液,提高产?#20998;?#37327;和工艺的稳定性;

4、本发明能够大大?#26723;?#29983;产和物流成本;

5、本发明能够有效?#26723;?#29615;境污染。

附图说明

图1为第一柜体结构示意图。

图2为第二柜体的示意图。

图3为三甲基铝的安全输送装置示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施例,进一步阐述本发明。应理解,这些实施例仅用于说明
本发明而不用于限制本发明的范围。?#36865;?#24212;理解,在阅读了本发明讲授的内容之
后,本领域技术人员可以对本发明作各种改动或修改,这些?#29123;?#24418;式同样落于本
申请所附权利要求书所限定的范围。

实施例

如图3所示,本实施例的三甲基铝的安全输送装置,包括第一柜体100、第
二柜体200、三甲基铝源瓶1、第一缓冲罐3和第二缓冲罐4,三甲基铝源瓶1
设于第一柜体100中,第一缓冲罐3和第二缓冲罐4设于第二柜体200中,高纯
三甲基铝经由第一柜体100的三甲基铝源瓶1输送到第二柜体200的第一缓冲罐
3和第二缓冲罐4,再输送给终端设备。所述的三甲基铝的安全输送装置能够实
现源头对于终端设备的全自动?#24739;?#26029;供应高纯三甲基铝。

如图1所示,所述的三甲基铝源瓶1具有推送气体进出口和三甲基铝进出口,
所述的三甲基铝源瓶1通过设于第一柜体100中的管路连接第一推送气体入口管
路1-5、第一三甲基铝源出口管路1-8、第一吹扫气源入口管路1-6、第一排放
出口管路1-7和备用三甲基铝源入口1-9。

第一推送气体入口管路1-5连接第一手动阀91的第一端口,第一手动阀91
的第二端口连接第一减压阀31的第一端口、第一减压阀31的第二端口连接第一
过滤器81的进口,第一过滤器81的出口连接第一压力表41的第一端口、第一
压力表41的第二端口连接第二单向阀62的进口,第二单向阀62的出口连接第
一气动阀21的第一端口,第一气动阀21的第二端口连接第一压力传感器51和
第一球阀11的第一端口,第一球阀11的第二端口连接三甲基铝源瓶1的推送气
体进出口。三甲基铝源瓶1的三甲基铝进出口连接第二球阀12的第一端口,第
二球阀12的第二端口连接源气动阀101的第一端口,源气动阀101的第二端口
连接第三气动阀23的第一端口,第三气动阀23的第二端口连接第一三甲基铝源
出口管路1-8。所述的第一吹扫气源入口管路1-6连接第二手动阀92的第一端
口,第二手动阀92的第二端口连接第一单向阀61的入口,第一单向阀61的出
口连接第二减压阀32的第一端口,第二减压阀32的第二端口连接第二过滤器
82的进口,第二过滤器82的出口连接第二压力表42的第一端口,第二压力表
42的第二端口连接过流开关102的第一端口,过流开关102的第二端口连接第
六气动阀26的第一端口和第七气动阀27的第一端口,第七气动阀27的第二端
口连接第二压力传感器52的第一端口和第八气动阀28的第一端口,第六气动阀
26的第二端口和第八气动阀28的第二端口连接第一排放出口管路1-7,第二压
力传感器52的第二端口连接第二气动阀22的第一端口,第二气动阀22的第二
端口连接源气动阀101的第二端口;所述的第一球阀11的第一端口连接第四气
动阀24的第一端口,第四气动阀24的第二端口连接第九气动阀29的第一端口,
第九气动阀29的第二端口连接第一排放出口管路1-7。所述的源气动阀101的
第二端口连接第五气动阀25的第一端口,第五气动阀25的第二端口连接第一球
阀11的第一端口。所述的第一排放出口管路1-7连接安全阀71的第一端口,安
全阀71的第二端口连接第二单向阀62的入口。所述的源气动阀101的第二端口
连接第十气动阀20的第一端口,第十气动阀20的第二端口连接备用三甲基铝源
入口管路1-9,备用三甲基铝源入口管路1-9连接第三手动阀93的第一端口,
第三手动阀93的第二端口连接第一三甲基铝源出口管路1-8。

在三甲基铝源瓶1使用完毕需要更换新瓶之前,需要排除阀组和管路内残留
的三甲基铝,其目的是为了防止?#20302;?#20869;残留的三甲基铝液体释放到环境里面引起
火灾及人员伤害(三甲基铝接触空气或水分即立刻发生燃烧及分解),而且也防
止在?#20302;?#20869;燃烧反应的产物污染整个?#20302;?燃烧的产物为氧化锌、二氧化碳等物
质),而当新瓶更换上去以后也需要对阀组再次进行吹扫置换,以驱除更换新瓶
时进入?#20302;?#30340;空气等杂?#21097;?#20854;目的是为防?#22815;?#22659;里面的空气等杂质对于?#20302;?#30340;污
染,也为防止当三甲基铝供出以后与进入?#20302;?#30340;杂?#24335;?#34892;反应,导致?#20302;?#29123;烧等
事故的发生。

如图1所示,第一柜体100的使用方法如下:

1、第一手动阀91、第一减压阀31、第一过滤器81、第二单向阀62保持常
开状态。第二手动阀92、第一单向阀61、第二减压阀32、第二过滤器82、过流
开关102保持常开状态。下述的所有阀门的关闭不包含上述阀门。

2、液体输送:三甲基铝源瓶1中的三甲基铝液体主要是依靠推送气体(惰
性气体)一般为高纯氮气对三甲基铝液面的挤压,实现三甲基铝的供应。将高纯
氮气送入第一推送气体入口管路1-5,打开第一手动阀91,氮气进入第一减压阀
31,将压力调节为40Psig,氮气进入第一过滤器81过滤,第一压力表41显示经
调节后的氮气压力,进入第二单向阀62,打开第一气动阀21,第一压力传感器
51将氮气压力信号送至控制器,打开第一球阀11,氮气即进入三甲基铝源瓶1,
瓶内液体受到气体挤压,液体从底部管道压入第二球阀12,打开第二球阀12、
源气动阀101和第三气动阀23,将三甲基铝液体送到第一三甲基铝源出口1-8,
气动阀门的动作都通过控制器?#32431;?#21046;,此时其他阀门保持关闭状态。

3、换新瓶前准备:关闭上述所有阀门,打开第一球阀11、第四气动阀24
和第九气动阀29将瓶内压力释放到终?#23435;?#27668;处理?#20302;?尾气处理?#20302;?#26377;真空泵
支持),气体从第一排放出口管路1-7排出后关闭所有阀门。

4、换新瓶前源气动阀至第二球阀内残液排除:关闭所有阀门,高纯氮气灌
入第一吹扫气源入口管路1-6,打开第二手动阀22,氮气经第一单向阀61进入
第二减压阀32,调节压力至15Psig左右,经第二过滤器82后第二压力表42显
?#38236;?#33410;后压力,氮气进入过流开关102(其作用是控制氮气流量过大对?#20302;?#36896;成
威胁),打开第七气动阀27,由第二压力传感器52将压力信号送至控制器,打
开第二气动阀22、源气动阀101和第二球阀12,将残液送回三甲基铝源瓶1后
关闭所有阀门。

5、三甲基铝源瓶1与供应阀组之间管道内惰?#28304;?#25195;和置换:关闭所有阀门,
打开第七气动阀27,由第二压力传感器52将压力信号送至控制器,打开第二气
动阀22、源气动阀101将氮气灌入源气动阀101与第二球阀12之间管道内,然
后关闭所有阀门,打开源气动阀101、第二气动阀22和第八气动阀28,内部氮
气被排放出口真空吸走,然后关闭所有阀门,如此动作重复20?#25105;?#20445;证?#20302;?#20869;
三甲基铝残留被置换干净。

6、源瓶更换:关闭所有阀门,打开第七气动阀27、第二气动阀22、第五气
动阀25、源气动阀101将氮气灌入第五气动阀25与第一球阀11之间管道与源
气动阀101与第二球阀12之间管道内,打开第一球阀11、第二球阀12上面的
接口,保持氮气吹出以免外界空气进入阀组面板污染?#20302;常?#31227;走空瓶换上实瓶。

7、新瓶供液前吹扫:关闭所有阀门,打开第七气动阀27、第二气动阀22、
第五气动阀25、源气动阀101将氮气灌入第五气动阀25与第一球阀11之间管
道与源气动阀101与第二球阀12之间管道内,然后关闭所有阀门,打开源气动
阀101、第五气动阀25、第二气动阀22和第八气动阀28,内部氮气被排放出口
真空吸走,然后关闭所有阀门,如此动作重复20?#25105;?#20445;证?#20302;?#20869;外界污染物被
置换干净。

8、送液前压力检查:打开第七气动阀27、第二气动阀22、第五气动阀25
及源气动阀101将氮气引入?#20302;常?#35266;察第二压力传感器52看压力在10?#31181;?#20869;是
否有波动。如果存在压力下降需要检查接口等处是否衔接完整,如没?#24615;?#36827;入真
空状态检查,关闭所有阀门,然后打开第八气动阀28、第二气动阀22、第五气
动阀25及源气动阀101,内部氮气被排放出口真空吸走,并保持内部的真空度,
然后关闭所有阀门,观察第二压力传感器52看压力在10?#31181;?#20869;是否有波动,如
果上升则需要检查接口等处是否衔接完整,如没?#24615;?#36827;入液体输送步骤。

9、直接使用外部三甲基铝源供应,关闭所有阀门,将外部三甲基铝源送入
备用三甲基铝入口管路1-9,在?#20302;?#22788;于真空状态打开第三手动阀23直接实现三
甲基铝源至第二柜体再至终端设备的供应。

如图2所示,所述的第一缓冲罐3和第二缓冲罐4皆通过设于第二柜体200
内的管路连接第二推送气体入口管路2-5、第二三甲基铝源出口管路2-8、第二
吹扫气源入口管路2-6、第二排放出口管路2-7和三甲基铝源入口管路2-9;所
述的三甲基铝源入口管路2-9连接第一三甲基铝源出口管路1-8,第二三甲基铝
源出口管路2-8连接终端设备。所述的第一缓冲罐3和第二缓冲罐4皆具有推送
气体进出口和三甲基铝进出口。

所述的第二柜体200内的第二柜体200内的管路与第一柜体100内的管路基
本相同,区别在于,将第一柜体100内的三甲基铝源瓶1替换为第一缓冲罐3和
第二缓冲罐4,第一缓冲罐3和第二缓冲罐4皆具有推送气体进出口和三甲基铝
进出口。第二推送气体入口管路2-5连接第一手动阀91的第一端口,第一手动
阀91的第二端口连接第一减压阀31的第一端口、第一减压阀31的第二端口连
接第一过滤器81的进口,第一过滤器81的出口连接第一压力表41的第一端口、
第一压力表41的第二端口连接第二单向阀62的进口,第二单向阀62的出口连
接第一气动阀21的第一端口,第一气动阀21的第二端口连接第一压力传感器
51、第一膜阀13的第一端口和第三膜阀15的第一端口,第一膜阀13的第二端
口连接第一缓冲罐3的推送气体进出口,第三膜阀15的第二端口连接第二缓冲
罐4的推送气体进出口;第一缓冲罐3的三甲基铝进出口连接第二膜阀14的第
一端口,第二缓冲罐4的三甲基铝进出口连接第四膜阀16的第一端口,第二膜
阀14的第二端口和第四膜阀16的第二端口连接源气动阀101的第一端口,源气
动阀101的第二端口连接第三气动阀23的第一端口,第三气动阀23的第二端口
连接第二三甲基铝源出口管路2-8。所述的第二吹扫气源入口管路2-6连接第二
手动阀92的第一端口,第二手动阀92的第二端口连接第一单向阀61的入口,
第一单向阀61的出口连接第二减压阀32的第一端口,第二减压阀32的第二端
口连接第二过滤器82的进口,第二过滤器82的出口连接第二压力表42的第一
端口,第二压力表42的第二端口连接过流开关102的第一端口,过流开关102
的第二端口连接第六气动阀26的第一端口和第七气动阀27的第一端口,第七气
动阀27的第二端口连接第二压力传感器52的第一端口和第八气动阀28的第一
端口,第六气动阀26的第二端口和第八气动阀28的第二端口连接第二排放出口
管路2-7,第二压力传感器52的第二端口连接第二气动阀22的第一端口,第二
气动阀22的第二端口连接源气动阀101的第二端口;所述的第一膜阀13的第一
端口和第三膜阀15的第一端口连接第四气动阀24的第一端口,第四气动阀24
的第二端口连接第九气动阀29的第一端口,第九气动阀29的第二端口连接第二
排放出口管路2-7。所述的源气动阀101的第二端口连接第五气动阀25的第一
端口,第五气动阀25的第二端口连接第一膜阀13的第一端口和第三膜阀15的
第一端口。所述的第二排放出口管路2-7连接安全阀71的第一端口,安全阀71
的第二端口连接第二单向阀62的入口。所述的源气动阀101的第二端口连接第
十气动阀20的第一端口,第十气动阀20的第二端口连接三甲基铝源入口管路
2-9,三甲基铝源入口管路2-9连接第三手动阀93的第一端口,第三手动阀93
的第二端口连接第二三甲基铝源出口管路2-8。

第一缓冲罐3和第二缓冲罐4设计主要满足近距离输送压力稳定?#23433;患?#26029;供
应,通过压力控制接受来自第一柜体100的三甲基铝源,第一缓冲罐3和第二缓
冲罐4中的一个处于供料状态至终端设备,另一个处于备用或是受料状态,这样
由于两个缓冲罐的供应压力(压送氮气压力)设为一致,避免在供料切?#36824;?#31243;造
成压力波动,可以实现对于终端设备稳定的?#24739;?#26029;的供应。第一缓冲罐3和第二
缓冲罐4的切换重量为满瓶重量的10%-99%可调,通过电子?#21697;?#39304;信号实现左右
侧切换。

第二柜体200的的使用方法如下:

1、第一手动阀91、第一减压阀31、第一过滤器81、第二单向阀62保持常
开状态。第二手动阀92、第一单向阀61、第二减压阀32、第二过滤器82、过流
开关102保持常开状态。下述的所有阀门的关闭不包含上述阀门。

2、第一缓冲罐3和第二缓冲罐4的液体输入:关闭所有阀门,将第一柜体
100输送来的三甲基铝输入三甲基铝源入口管路2-9,打开第十气动阀20、源气
动阀101、以及第二膜阀14或第四膜阀16,将三甲基铝输入第一缓冲罐3或第
二缓冲罐4。

3、第一缓冲罐3和第二缓冲罐4的液体输送:将高纯氮气送入第二推送气
体入口管路2-5,打开第一手动阀91,氮气进入第一减压阀31,将压力调节为
40Psig,氮气进入第一过滤器81过滤,第一压力表41显示经调节后的氮气压力,
进入第二单向阀62,打开第一气动阀21,第一压力传感器51将氮气压力信号送
至控制器,打开第一膜阀13或第三膜阀15,氮气即进入第一缓冲罐3或第二缓
冲罐4,瓶内液体受到气体挤压,液体从底部管道压入第二膜阀14或第四膜阀
16,打开第二膜阀14或第四膜阀16、源气动阀101和第三气动阀23,将三甲基
铝液体送到第二三甲基铝源出口2-8,气动阀门的动作都通过控制器?#32431;?#21046;,此
时其他阀门保持关闭状态。

4、当需要更换第一缓冲罐3或第二缓冲罐4?#20445;?#26356;换方法类似于第一柜体
100的使用方法中的步骤3-8,区别在于,将第一球阀11对应替换为第一膜阀13
或第三膜阀15,将第二球阀12对应替换为第二膜阀14或第四膜阀16。

所述的三甲基铝源瓶1设于第一柜体100中,第一缓冲罐3和第二缓冲罐4
设于第二柜体200中,所述的第一柜体100和第二柜体200的顶部皆设有控制器、
自动风阀201、干粉灭火器202、红外火焰侦测器203和高温探头204,控制器、
自动风阀201、干粉灭火器202、红外火焰侦测器203和高温探头204,均为市
售产品,控制器与上述各阀、自动风阀201、干粉灭火器202、红外火焰侦测器
203和高温探头204连接。三甲基铝源瓶1、第一缓冲罐3和第二缓冲罐4各设
于一个电子秤2上。

本实施例中的各阀都为隔膜密封阀,材质为316L,表面进?#26800;?#25243;光处理,
所有连接阀件的管道也都为316L内表面电抛光处理材料,所有的连接方式为VCR
面密封式和自动?#19981;?#28938;接方式,管?#38647;?#32456;经压力测试和氦质?#20934;?#28431;,最大程度的
保证?#20302;?#30340;气密性,另外还需进行痕量水分、氧分及颗粒度检测,保证?#20302;?#30340;纯
度。

干粉灭火器202主要是当发生三甲基铝泄漏而造成燃烧时能进行动作,干粉
灭火器202是由两个封闭半球型外壳组成,装有灭火干粉、气体发生剂和电活化
剂。当发?#21482;?#28304;,气体发生剂混合物达到自动启动的温度,或者电活化剂接到电
流脉冲?#20445;?#22771;内气体迅速膨胀、压力增大,将底?#23458;?#22771;冲破,超细干粉向外喷射
并迅速向四周?#33268;?#23427;的驱动方?#25509;?#20004;种,一种是温度驱动,当?#20302;?#28201;度到达
80℃时内容物自?#20449;?#32960;分解;另外一种是电流脉冲,外部给出电流信号(700mA)
即进行启动灭火方法的动作,电流信号主要由控制器给出。?#22791;?#31881;灭火方法到达
两者任何一种状态时灭火方法?#32431;?#22987;工作,大大保障了?#20302;?#30340;安全。

高温探头204的作用主要是在?#20302;?#21457;生泄漏或温度异常时能给出信号到控
制器,使控制器能关断第一供应支路和第二供应支路上的各阀门,给干粉灭火方
法脉冲电流,驱动干粉灭火方法动作。高温探头204的启动温度为68℃。

红外火焰侦测器203即UV/IR,主要探测柜体内是否存在火焰,一旦探知红
外火焰立即给出信号到控制器,使控制器能关断第一供应支路和第二供应支路上
的各阀门。

自动风阀201的设置主要是考虑到当柜体内发生火灾时能第一时间关闭风
门,以?#21387;?#20307;从厂务抽风?#20302;持?#38548;离出来。

电子秤2用来监控三甲基铝源瓶1、第一缓冲罐3和第二缓冲罐4的重量,
当三甲基铝源瓶1使用接近空瓶?#20445;?#23427;能给控制器一个信号,提示三甲基铝源瓶
1即将使用完毕,需要更换。

控制器位于柜体的顶端,是保证?#20302;?#27491;常运转的核心,主要控制各阀门的开
关,也是信号输入输出的模块,它主要由PLC模块、电磁阀、报警灯、触摸屏
等组成,它的控制逻辑主要由编写的PLC程序实现,它有外接的扩展端口,可
以和?#24615;?#31243;控制功能的模块实?#36136;?#25454;交换和远程监控。

第一柜体100、第二柜体200的壳体由厚度为2.5mm的钢板制造,门上的窗
户由?#21482;?#25289;丝玻璃制造,有很好的防爆性能,另外柜体顶部有抽风口(自动风阀
201设于所述的抽风口),外接厂务抽?#20302;常?#20445;证泄漏物不会进入柜体外的环境,
最大程度保证?#20302;?#30340;安全。

第一柜体100与第二柜体200之间以及第二柜体200与终端设备之间的管线
为不锈钢材质的双套管,外管为不锈钢,中间为氮气吹扫层,内管为电抛光处理
的316L不锈钢,在外管的设备端入口接入吹扫氮气,往柜体里面吹,当管道中
间有泄漏发生的话也会?#36824;?#20307;内高温探头和红外火焰侦测器侦测到,而且双层管
设计的好处在于内管发生泄漏不会直接进入环境引起火灾。

本发明中,输送方法采用高纯氮气,将三甲基铝源瓶原料先压送至第一柜体
100,再由管道经第一柜体100输送至第二柜体200,最终由第二柜体200压送
到终端设备附近的闪蒸装置内,供液信号来源于工艺设备端的需求指令。所有阀
和管道均安装在面板上,采用两块独立的面板,气体面板、液体控制面板,各面
板均采用不锈钢材?#35797;?#20214;,第一柜体100和第二柜体200采用抽风柜体,第一排
放出口管路1-7和第二排放出口管路2-7配置高真空泵,以便更换钢瓶?#22791;?#21161;吹
扫。当任何一柜体内发生泄漏?#20445;?#39640;温探头204及红外火焰侦测器203任何一者
探知即立?#25506;?#20449;号传给控制器,再由控制器将源气动阀101关闭,另外控制器会
同?#22791;?#20449;号至自动风阀201,关闭抽风?#20302;常?#21516;时启动干粉灭火方法,进行灭火
的动作。

关于本文
本文标题:一种三甲基铝的安全输送装置.pdf
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