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一种电镀线切割硅片用主导线辊.pdf

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一种 电镀 切割 硅片 主导
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摘要
申请专利号:

CN201610533913.9

申请日:

2016.07.07

公开号:

CN106003445A

公开日:

2016.10.12

当前法律状态:

驳回

有效性:

无权

法?#19978;?#24773;: 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B28D 5/04申请公布日:20161012|||实质审查的生效IPC(主分类):B28D 5/04申请日:20160707|||公开
IPC分类号: B28D5/04; B28D7/00 主分类号: B28D5/04
申请人: 无锡隆基硅材料有限公司
发明人: 李斌全; 何江涛; 李小刚; 谈继岗
地址: 214000 江苏省无锡市新吴区锡梅路111-1号
优?#28909;ǎ?/td>
专利代理机构: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 邵骅
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法律状态
申请(专利)号:

CN201610533913.9

授权公告号:

||||||

法律状态公告日:

2019.03.15|||2016.11.09|||2016.10.12

法律状态类型:

发明专利申请公布后的驳回|||实质审查的生效|||公开

摘要

本发明公布了一种电镀线切割硅片用主导线辊,表面包覆有聚氨酯耐磨材料,且刻有与硅片目标厚度对应?#32784;?#24515;圆V槽。电镀线往复缠绕在一对主导线辊上,所述一对主导线辊的轴心均与旋转轴的轴心偏离100μm,使得主导线辊旋转时为偏心轮状态,表面跳动值为200μm。一对主导线辊静止状态下的高点方位形成180°。本发明能改善切割废硅屑的排出能力和冷却液的冷却性能,提高金刚砂切削能力,最终提高加工效率,改善硅片表面品质的电镀线切割硅片用主导线辊。

权利要求书

1.一种电镀线切割硅片用主导线辊,电镀线往复缠绕在一对主导线辊,其特征在于:所述一对主导线辊中至少有一个的轴心与旋转轴的轴心偏离。2.根据权利要求1所述的电镀线切割硅片用主导线辊,其特征在于:所述主导线辊轴心和旋转轴轴心距离为80-120μm。3.根据权利要求1或2所述的电镀线切割硅片用主导线辊,其特征在于:所述一对主导线辊的轴心均与旋转轴的轴心偏离。4.根据权利要求3所述的电镀线切割硅片用主导线辊,其特征在于:所述一对主导线辊静止状态下的高点方位形成180°。5.根据权利要求4所述的电镀线切割硅片用主导线辊,其特征在于:所述主导线辊转动引起电镀线纵向摆动,所述电镀线的摆动频率为25-30次/s。6.根据权利要求1或2所述的电镀线切割硅片用主导线辊,其特征在于:所述主导线辊表面包覆有聚氨酯耐磨材料,且刻有与硅片目标厚度对应?#32784;?#24515;圆V槽。7.根据权利要求6所述的电镀线切割硅片用主导线辊,其特征在于:所述主导线辊?#26412;?#20026;230mm。

说明书

一种电镀线切割硅片用主导线辊

技术领域

本发明属于硅片切割技术领域,特别是涉及一种电镀线切割硅片用主导线辊。

背景技术

硅片线切割加工时,需要将电镀线缠绕在主导线辊(以下简称主辊)上,一般情况下,主辊是一对同心圆柱体,表面包覆聚氨酯耐磨材料,且刻有与硅片目标厚度对应?#32784;?#24515;圆V槽。常见的技术内容中,?#26377;?#20102;游离磨料切割时期对主辊的要求,规定旋转表面跳动<20μm,目的是保持高速运转时钢线线网的平稳性,防止钢线不稳定抖动导致的异常。

随着电镀线切割技术的进步,一方面,加工时间快速缩短,单位时间进给距离增大,意味着单位时间内切削加工量的增大。另一方面,为了减少切割锯缝损失,钢线?#26412;?#21644;金刚石粒径都在快速缩小中。两者结合后,切割作业面狭窄且作业量大,导致作业面冷却液进入困难,作业面温度升高,切割废屑排出较难,进而影响到了硅片表面加工质量和金刚砂粒的切削能力,需要开发新工艺进行改善。

目前已有相关技术推出,主要采用了加载超声波的方式来使电镀线产生>20HZ的小幅震动?#35789;迪纸?#20915;上述两项问题的目的,但需要?#24230;?#30005;气设备,维护和可靠?#22278;?#39640;。

发明内容

本发明目的在于针对现有主导线辊的缺陷,提供一种能改善切割废硅屑的排出能力和冷却液的冷却性能,提高金刚砂切削能力,最终提高加工效率,改善硅片表面品质的电镀线切割硅片用主导线辊。

本发明为实现上述目的,采用如下技术方案:

一种电镀线切割硅片用主导线辊,电镀线往复缠绕在一对主导线辊,其特征在于:所述一对主导线辊中至少有一个的轴心与旋转轴的轴心偏离。

其进一步特征在于:所述主导线辊轴心和旋转轴轴心距离为80-120μm。

优选的:所述一对主导线辊的轴心均与旋转轴的轴心偏离。

所述一对主导线辊静止状态下的高点方位形成180°。

所述主导线辊转动引起电镀线纵向摆动,所述电镀线的摆动频率为25-30次/s。

其进一步特征还在于:所述主导线辊表面包覆有聚氨酯耐磨材料,且刻有与硅片目标厚度对应?#32784;?#24515;圆V槽。

所述主导线辊?#26412;?#20026;230mm。

本发明优点在于:

1、工艺成本?#22303;资?#29616;,只需把主辊安装锥面进行重新偏心加工,一次小成本改造,后续无需再?#24230;搿?/p>

2、可靠性高,由于属于?#24067;?#25913;造,只需每次安装主辊时确认高点位置,即可免维护连续使用。

3、?#19978;?#33879;改善切割效果,经测试,相较普通工艺主辊,硅片表面加工线痕值下降1μm,TTV值下降2μm,棱边破损率下降0.2%。

4、不产生附加材料需求和废弃物。

本发明能改善切割废硅屑的排出能力和冷却液的冷却性能,提高金刚砂切削能力,最终提高加工效率,改善硅片表面品质的电镀线切割硅片用主导线辊。

附图说明

图 1 为现有普通工艺主导线辊安装状态示意图。

图 2 为本发明主导线辊安装状态示意图。

图3、4为本发明主导线辊使用时,电镀线的运行状态示意图。

具体实施方式

如图1所示,?#20013;?#20027;辊工艺条件下,主导线辊1的圆周与主导线辊的旋转轴4轴心为同心圆,表面跳动值<20μm,电镀线2线网张力与硅料3进给压力形成瞬时平衡状态,电镀线2紧贴着硅料3加工锯槽(见图1)快速平稳往返运行,电镀线2与作业面之间的间隙小于5μm(小于金刚砂粒径均值),切割液很难大量进入,排屑和冷却困?#36873;?/p>

如图2-4所示,一种电镀线切割硅片用主导线辊1,表面包覆有聚氨酯耐磨材料5,且刻有与硅片目标厚度对应?#32784;?#24515;圆V槽。电镀线2往复缠绕在一对主导线辊1上,所述一对主导线辊1的轴心均与旋转轴4的轴心偏离100μm,使得主导线辊1旋转时为偏心轮状态,表面跳动值为200μm。一对主导线辊1静止状态下的高点方位形成180°。

如图3、4所示,在进行硅片切割作业时,电镀线线网中的每根钢线?#21363;?#22312;如下动态过程:单根电镀线处于主导线辊上侧的部分,除按设定的20m/s的直线速度向一侧运行切割外,还附加了左右端主导线辊支点跳动引起的电镀线纵向摆动,单侧支点跳动频率为27.6次/s,端点振幅与该侧主导线辊的表面跳动相等。随着电镀线的纵向摆动,切割液可以方便地进入电镀线与作业面之间的间隙,便于排屑和冷却。

关于本文
本文标题:一种电镀线切割硅片用主导线辊.pdf
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