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斐索式双波长干涉测试装置及其合成波长相位提取方法.pdf

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斐索式双 波长 干涉 测试 装置 及其 合成 相位 提取 方法
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摘要
申请专利号:

CN201510522812.7

申请日:

2015.08.24

公开号:

CN106482839A

公开日:

2017.03.08

当前法律状态:

实审

?#34892;?#24615;:

审中

法?#19978;?#24773;: 实质审查的生效IPC(主分类):G01J 9/02申请日:20150824|||公开
IPC分类号: G01J9/02 主分类号: G01J9/02
申请人: 南京理工大学
发明人: 高志山; 成金龙; 王帅; 王凯亮; 王伟; 袁群; 窦建泰; 朱丹
地址: 210094 江苏省南京?#34892;?#27494;区孝陵卫200号
优?#28909;ǎ?/td>
专利代理机构: 南京理工大学专利?#34892;?32203 代理人: 朱显国
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法律状态
申请(专利)号:

CN201510522812.7

授权公告号:

|||

法律状态公告日:

2017.04.05|||2017.03.08

法律状态类型:

实质审查的生效|||公开

摘要

本发明公开了一种斐索式双波长干涉测试装置及其合成波长相位提取方法。两种波长同时工作时通过采用二向色镜实现了单波长移相干涉图的采集,同时仅需针对部分光?#26041;?#34892;消色差设计实现两种波长下的工作。其次,针对传统双波长移相干涉测试装置采用PZT移相而引起的不同波长下移相误差的问题,采用合成波长结合单波长相位处理的方式,?#31181;?#20102;不同波长下移相误差对合成波长相位的影响,避免两种波长下移相步进量进行标定。该方法同样对不同波长下的振动、多光束干涉等误差?#34892;А?#30001;于仅需控制单个波长下的测试精度,因此该方法对合成波长相位数据的提取过程快速简单。

权利要求书

1.一种斐索式双波长干涉测试装置,其特征在于:包括工作波长为λ1的第
一激光器(1)、工作波长为λ2的第二激光器(2)、反射镜(3)、第一分光镜
(4)、扩束镜(5)、第二分光镜(6)、准直物镜组(7)、参?#35745;?#38754;镜(8)、PZT
移相器(9)、待测平面镜(10)、小孔光阑(11)、二向色镜(12)、第一成像透
镜组(13)、第一CCD探测器(14)、第二成像透镜组(15)和第二CCD探测
器(16),其中λ1<λ2?#36824;?#20809;轴依次设置工作波长为λ1的第一激光器(1)和反
射镜(3),上述部件所处的光轴为第一光轴?#36824;?#20809;轴依次设置工作波长为λ2的
第二激光器(2)、第一分光镜(4)、扩束镜(5)、第二分光镜(6)、准直物镜
组(7)、参?#35745;?#38754;镜(8)和待测平面镜(10),上述部件所处的光轴为第二光轴,
第二光轴与第一光轴平行;反射镜(3)和第一分光镜(4)共光轴,且所述光轴
分别垂直于第一光轴和第二光轴?#36824;?#20809;轴依次设置第二分光镜(6)、小孔光阑
(11)、截止波长为λ3的二向色镜(12)、第二成像透镜组(15)和第二CCD探
测器(16),上述部件所处的光轴为第三光轴,第三光轴与第二光轴垂直?#36824;?#20809;
轴依次设置二向色镜(12)、第一成像透镜组(13)、第一CCD探测器(14);参
?#35745;?#38754;镜(8)设置在PZT移相器(9)上,上述部件所处的光轴为第四光轴,
第四光轴与第三光轴垂直;所有光学元件相对于基底同轴等高;第一激光器(1)
和第二激光器(2)同时发射激光,由工作波长为λ1的第一激光器(1)发出的
波长为λ1的激光经反射镜(3),反射至第一分光镜(4),经第一分光镜(4)反
射至扩束镜(5),经扩束镜(5)扩束后变成发散光束,透过第二分光镜(6)后
经准直物镜组(7)后变成准直的大口径平行光束,该平行光束依次入射至参考
平面镜(8)和待测平面镜(10),形成了波长为λ1的干涉测试光路;由工作波
长为λ2的激光器(2)发出的波长为λ2的激光透过第一分光镜(4)入射至扩束
镜(5),经扩束镜(5)扩束后变成发散光束,透过第二分光镜(6)后经准直物
镜组(7)后变成准直的大口径平行光束,该平行光束依次入射至参?#35745;?#38754;镜(8)
和待测平面镜(10),形成了波长为λ2的干涉测试光路;入射至参?#35745;?#38754;镜(8)
和待测平面镜(10)的光波在参?#35745;?#38754;镜(8)后表面和待测平面镜(10)前表
面之间反射,获得参?#35745;?#38754;镜(8)后表面和待测平面镜(10)面型信息,携带
参?#35745;?#38754;镜(8)后表面和待测平面镜(10)面型信息的波长分别为λ1和λ2的光
波经参?#35745;?#38754;镜(8),透过准直物镜组(7)后被第二分光镜(6)反射聚焦?#21015;?br />孔光阑(11),通过小孔光阑(11)后入射至二向色镜(12),经二向色镜(12)
后分为两束,一束波长为λ1的反射光,另一束为波长为λ2的?#24178;?#20809;,波长为λ1
的反射光经第一成像透镜组(13)后,被第一CCD探测器(14),采集获得波长
λ1对应的干涉图像;波长为λ2的?#24178;?#20809;经第二成像透镜组(15)后,被第二CCD
探测器(16)采集,获得波长λ2对应的干涉图像。
2.根据权利要求1所述的斐索式双波长干涉测试装置,其特征在于:所述
第二分光镜(6)与第三光轴逆时针夹角为135°±1°;二向色镜(12)与第三
光轴逆时针夹角为45°±1°。
3.基于权利要求1所述的基于斐索式双波长干涉测试装置的合成波长相位
提取方法,其特征在于,步骤如下:
步骤一:搭建斐索式双波长干涉测试装置:
步骤二:采用上述斐索式双波长干涉测试装置测试待测平面镜(10)时,控
制PZT移相器(9),按照λ1的π/2为相移步进量进行移相,同步实现对待测平面
镜(10)的双波长干涉检测;
步骤二:根据采集到的波长为λ1的移相干涉图,求解λ1的压包相位根
据采集到的波长为λ2的移相干涉图,求解λ2的压包相位所述λ2的压包相
位含有移相误差;
步骤三:根据双波长测试原理,对两种波长下的压包相位差分,可以得到其
包含移相误差的合成波长相位为且合成波长的相位恢?#27425;?#24046;
?#27425;?相位的相位恢?#27425;?#24046;
步骤四:对包含移相误差的合成波长相位进行相位解包,得到其解包相
位其包含的相位恢?#27425;?#24046;仍为
步骤五:根据参?#35745;?#38754;镜(8)与待测平面镜(10)在不同波长下光程差的
一致性,即合成波长与单波长光程差数据重合的特点,利用包含移相误差的合成
波长相位的解包相位结合不含相移误差的波长λ1压包相位进行解包,
得到校正后的相位值Φcorrect:

其中round为取整操作。
4.根据权利要求3所述的基于斐索式双波长干涉测试装置的合成波长相位
提取方法,其特征在于:步骤一中,PZT移相器按照λ2的π/2为相移步进量进
行移相,其后的步骤中做相应的替换。

说明书

斐索式双波长干涉测试装置及其合成波长相位提取方法

技术领域

本发明属于光学测量技术领域,特别是一种斐索式双波长干涉测试装置及其
合成波长相位提取方法。

背景技术

光学干涉测试技术因具有高精?#21462;?#24555;速、非接触式无损测量等优点,从而在
光学元件面形、光学系统性能以及光学材料特性等检测应用方面中具有无可比拟
的优越性,而光机、电子、计算机等技术的发展则进一步提高了光学干涉测试的
精度和自动化程?#21462;?#28982;而,传统的单波长移相干涉测试因测量范围受工作波长的
限制,制约了其在大深度或大梯度的面形检测方面的应用。为解决单波长测试时
的2π相位模糊问题,双波长干涉测试技术得以提出。双波长干涉检测是用两种
或两种以上波长的光源进行检测,通过利用双波长相位恢?#27492;?#27861;比较两者的相位
差得到波长较长的合成波长相位,其合成波长远大于检测波长。

双波长移相干涉测试装置得到了不断的发展?#36879;?#36827;,按移相方式主要有PZT
移相、波长移相、光栅移相等,其中PZT移相的双波长干涉仪较为普遍和成熟。
PZT移相方式的双波长干涉仪存在着不同波长下的移相误差问题,为此2006年
哈里哈兰(Hariharan)在《Two-wavelength interferometric profilometry with a
phase-step error-compensating algorithm》(Optical Engineering,45(11):
115602-1~3,2006)提出了基于高阶移相的合成波长相位提取算法,通过采用高
阶移相误差补偿算法来减小移相误差对于测量精度的影响,但仅在一定程度上补
偿了不同波长下的PZT标定误差,并不能较好地?#31181;?#19981;同波长的移相误差。此
外,双波长移相干涉测试装置按两种波长的工作状态分为双波长同步和异步干涉
测试方式。双波长异步干涉测试需要两种波长依次分别工作,不能实现快速测量。
双波长同步干涉测试通过处理两种波长干涉图叠加后的莫尔条纹求解合成波长
相位,但其因直接得到合成波长相位因而精度不高。2015年张望平在《Principal
component analysis based simultaneous dual-wavelength phase-shifting
interferometry》(Optics Communications,341:276-283,2015)提出采用主成
分分析的方法从莫尔条纹中分别提取出单波长相位,但其需要对不同波长下的光
强进行调制,且需要移相步进量在一个周期内均匀分布。

发明内容

本发明的目的在于提供一种斐索式双波长干涉测试装置及其合成波长相位
提取方法,解决不同波长下的移相误差的问题。

实现本发明目的的技术解决方案为:一种斐索式双波长干涉测试装置,包括
工作波长为λ1的第一激光器、工作波长为λ2的第二激光器、反射镜、第一分
光镜、扩束镜、第二分光镜、准直物镜组、参?#35745;?#38754;镜、PZT移相器、待测平
面镜、小孔光阑、二向色镜、第一成像透镜组、第一CCD探测器、第二成像透
镜组和第二CCD探测器,其中λ1<λ2?#36824;?#20809;轴依次设置工作波长为λ1的第一激
光器和反射镜,上述部件所处的光轴为第一光轴?#36824;?#20809;轴依次设置工作波长为
λ2的第二激光器、第一分光镜、扩束镜、第二分光镜、准直物镜组、参?#35745;?#38754;
镜和待测平面镜,上述部件所处的光轴为第二光轴,第二光轴与第一光轴平行;
反射镜和第一分光镜共光轴,且所述光轴分别垂直于第一光轴和第二光轴?#36824;?#20809;
轴依次设置第二分光镜、小孔光阑、截止波长为λ3的二向色镜、第二成像透镜
组和第二CCD探测器,上述部件所处的光轴为第三光轴,第三光轴与第二光轴
垂直?#36824;?#20809;轴依次设置二向色镜、第一成像透镜组、第一CCD探测器;参?#35745;?br />面镜设置在PZT移相器上,上述部件所处的光轴为第四光轴,第四光轴与第三
光轴垂直;所有光学元件相对于基底同轴等高;第一激光器和第二激光器同时
发射激光,由工作波长为λ1的第一激光器发出的波长为λ1的激光经反射镜,反
射至第一分光镜,经第一分光镜反射至扩束镜,经扩束镜扩束后变成发散光束,
透过第二分光镜后经准直物镜组后变成准直的大口径平行光束,该平行光束依次
入射至参?#35745;?#38754;镜和待测平面镜,形成了波长为λ1的干涉测试光路;由工作波
长为λ2的激光器发出的波长为λ2的激光透过第一分光镜入射至扩束镜,经扩束
镜扩束后变成发散光束,透过第二分光镜后经准直物镜组后变成准直的大口径平
行光束,该平行光束依次入射至参?#35745;?#38754;镜和待测平面镜,形成了波长为λ2的
干涉测试光路;入射至参?#35745;?#38754;镜和待测平面镜的光波在参?#35745;?#38754;镜后表面和待
测平面镜前表面之间反射,获得参?#35745;?#38754;镜后表面和待测平面镜面型信息,携带
参?#35745;?#38754;镜后表面和待测平面镜面型信息的波长分别为λ1和λ2的光波经参?#35745;?br />面镜,透过准直物镜组后被第二分光镜反射聚焦?#21015;?#23380;光阑,通过小孔光阑后入
射至二向色镜,经二向色镜后分为两束,一束波长为λ1的反射光,另一束为波
长为λ2的?#24178;?#20809;,波长为λ1的反射光经第一成像透镜组后,被第一CCD探测器,
采集获得波长λ1对应的干涉图像;波长为λ2的?#24178;?#20809;经第二成像透镜组后,被
第二CCD探测器采集,获得波长λ2对应的干涉图像。

所述第二分光镜与第三光轴逆时针夹角为135°±1°;二向色镜与第三光
轴逆时针夹角为45°±1°。

一种基于斐索式双波长干涉测试装置的合成波长相位提取方法,步骤如下:

步骤一:搭建斐索式双波长干涉测试装置:

步骤二:采用上述斐索式双波长干涉测试装置测试待测平面镜时,控制PZT
移相器,按照λ1的π/2为相移步进量进行移相,同步实现对待测平面镜的双波长
干涉检测;

步骤二:根据采集到的波长为λ1的移相干涉图,求解λ1的压包相位根
据采集到的波长为λ2的移相干涉图,求解λ2的压包相位所述λ2的压包相
位含有移相误差;

步骤三:根据双波长测试原理,对两种波长下的压包相位差分,可以得到其
包含移相误差的合成波长相位为且合成波长的相位恢?#27425;?#24046;
?#27425;?相位的相位恢?#27425;?#24046;

步骤四:对包含移相误差的合成波长相位进行相位解包,得到其解包相
位其包含的相位恢?#27425;?#24046;仍为

步骤五:根据参?#35745;?#38754;镜与待测平面镜在不同波长下光程差的一致性,即合
成波长与单波长光程差数据重合的特点,利用包含移相误差的合成波长相位的解
包相位结合不含相移误差的波长λ1压包相位进行解包,得到校正后的
相位值Φcorrect:


其中round为取整操作。

步骤一中,PZT移相器按照λ2的π/2为相移步进量进行移相,其后的步骤
中做相应的替换。

与现有技术相比,本发明的优点在于:(1)与传统双波长干涉装置相比仅需
要扩束准直光?#26041;?#34892;两种波长的消色差设计,成像光路部分仅需要进行单波长设
计;(2)针对传统双波长移相干涉测试装置采用PZT移相而引起的不同波长下
移相误差的问题,采用合成波长结合单波长相位处理的方式,?#31181;?#20102;不同波长下
移相误差对合成波长相位的影响;(3)针对不同波长下的振动、多光束干涉等误
差,只需采用相应算法确保其中某一波长下的测试精度,同样可以提高合成波长
相位精度;(4)由于仅需控制单个波长下的测试精度,因此合成波长相位数据的
提取过程快速简单。

附图说明

图1是斐索式双波长干涉测试装置示意图。

图2是基于斐索式双波长干涉测试装置的合成波长相位提取方法流程图。

图3是本发明实施例1中采用所发明的方法求解得到合成波长相位。

图4是本发明实施例2中采用所发明的方法求解得到合成波长相位。

图5是本发明实施例中采用传统方法求解得到合成波长相位。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详?#35813;?#36848;。

结合图1,一种斐索式双波长干涉测试装置,包括工作波长为λ1的第一激光
器1、工作波长为λ2的第二激光器2、反射镜3、第一分光镜4、扩束镜5、第
二分光镜6、准直物镜组7、参?#35745;?#38754;镜8、PZT移相器9、待测平面镜10、小
孔光阑11、二向色镜12、第一成像透镜组13、第一CCD探测器14、第二成像
透镜组15和第二CCD探测器16,其中λ1<λ2?#36824;?#20809;轴依次设置工作波长为λ1
的第一激光器1和反射镜3,上述部件所处的光轴为第一光轴?#36824;?#20809;轴依次设置
工作波长为λ2的第二激光器2、第一分光镜4、扩束镜5、第二分光镜6、准直
物镜组7、参?#35745;?#38754;镜8和待测平面镜10,上述部件所处的光轴为第二光轴,第
二光轴与第一光轴平行;反射镜3和第一分光镜4共光轴,且所述光轴分别垂直
于第一光轴和第二光轴?#36824;?#20809;轴依次设置第二分光镜6、小孔光阑11、截止波长
为λ3的二向色镜12、第二成像透镜组15和第二CCD探测器16,上述部件所处
的光轴为第三光轴,第三光轴与第二光轴垂直?#36824;?#20809;轴依次设置二向色镜12、
第一成像透镜组13、第一CCD探测器14;参?#35745;?#38754;镜8设置在PZT移相器9
上,上述部件所处的光轴为第四光轴,第四光轴与第三光轴垂直;所有光学元件
相对于基底同轴等高;第一激光器1和第二激光器2同时发射激光,由工作波
长为λ1的第一激光器1发出的波长为λ1的激光经反射镜3,反射至第一分光镜4,
经第一分光镜4反射至扩束镜5,经扩束镜5扩束后变成发散光束,透过第二分
光镜6后经准直物镜组7后变成准直的大口径平行光束,该平行光束依次入射至
参?#35745;?#38754;镜8和待测平面镜10,形成了波长为λ1的干涉测试光路;由工作波长
为λ2的激光器2发出的波长为λ2的激光透过第一分光镜4入射至扩束镜5,经
扩束镜5扩束后变成发散光束,透过第二分光镜6后经准直物镜组7后变成准直
的大口径平行光束,该平行光束依次入射至参?#35745;?#38754;镜8和待测平面镜10,形
成了波长为λ2的干涉测试光路;入射至参?#35745;?#38754;镜8和待测平面镜10的光波在
参?#35745;?#38754;镜8后表面和待测平面镜10前表面之间反射,获得参?#35745;?#38754;镜8后表
面和待测平面镜10面型信息,携带参?#35745;?#38754;镜8后表面和待测平面镜10面型信
息的波长分别为λ1和λ2的光波经参?#35745;?#38754;镜8,透过准直物镜组7后被第二分
光镜6反射聚焦?#21015;?#23380;光阑11,通过小孔光阑11后入射至二向色镜12,经二向
色镜12后分为两束,一束波长为λ1的反射光,另一束为波长为λ2的?#24178;?#20809;,波
长为λ1的反射光经第一成像透镜组13后,被第一CCD探测器14,采集获得波
长λ1对应的干涉图像;波长为λ2的?#24178;?#20809;经第二成像透镜组15后,被第二CCD
探测器16采集,获得波长λ2对应的干涉图像。其中,第二分光镜6与第三光轴
逆时针夹角为135°±1°;二向色镜12与第三光轴逆时针夹角为45°±1°。

结合图2,一种基于斐索式双波长干涉测试装置的合成波长相位提取方法,
步骤如下:

步骤一:搭建斐索式双波长干涉测试装置:

步骤二:采用上述斐索式双波长干涉测试装置测试待测平面镜10时,控制
PZT移相器9,按照λ1的π/2为相移步进量进行移相,同步实现对待测平面镜10
的双波长干涉检测;由于装置按照λ1的π/2相移步进量进行移相,因此λ2的移
相干涉图序列包含有移相误差,且由于波长的差异性,一阶线性移相误差要大于
高阶移相误差,即移相误差可近似为其中ε1为线性误差系数,

步骤二:根据采集到的波长为λ1的移相干涉图,求解λ1的压包相位根
据采集到的波长为λ2的移相干涉图,求解λ2的压包相位所述λ2的压包相
位含有移相误差,根据移相误差对相位恢复的影响一般表现为待测相位的两倍周
期正弦函数形式,则波长λ2的相位恢?#27425;?#24046;为:


其中,为波长λ2相位的相位恢?#27425;?#24046;,为波长λ2的理论相位。

步骤三:根据双波长测试原理,对两种波长下的压包相位差分,可以得到其
包含移相误差的合成波长相位为根据上式,波长λ2相位的相
位恢?#27425;?#24046;可以展开合成波长相位为理论合成波长相位与λ2相位的
相位恢?#27425;?#24046;之和。


因此合成波长的相位恢?#27425;?#24046;?#27425;?相位的相位恢?#27425;?#24046;

步骤四:对包含移相误差的合成波长相位进行相位解包,得到其解包相
位其包含的相位恢?#27425;?#24046;仍为

步骤五:根据参?#35745;?#38754;镜8与待测平面镜10在不同波长下光程差的一致性,
即合成波长与单波长光程差数据重合的特点,利用包含移相误差的合成波长相位
的解包相位结合不含相移误差的波长λ1压包相位进行解包,得到校正
后的相位值Φcorrect:


其中round为取整操作。上式中的包含相位恢?#27425;?#24046;的合成波长相位值进行
展开后可以得到:


上式中为理论上正确的合成波长相位,因此对进行取
整操作时其结果为整数。而将波长λ2的相位恢?#27425;?#24046;代入上式中相位恢?#27425;?#24046;
部分,并取整后得到:


展开上式中的移相误差线性系数ε1和合成波长λs可以得到:


上式中明显<1,即波长λ2的相位恢?#27425;?#24046;不会改变合成
波长相位数据整数部分,可以?#34892;?#22320;消除移相误差。

所述步骤一中,PZT移相器按照λ2的π/2为相移步进量进行移相,其后的
步骤中做相应的替换。

实施例1:

一种斐索式双波长干涉测试装置,采用工作波长为λ1=632.8nm的氦氖激
光器和工作波长为λ2=532nm的半导体激光器作为光源,合成波长可?#28304;?#21040;
3.339μm;装置中的二向色镜口径25.4mm,在350-585nm波段反射率大于98%,
在600-850nm波段透过率大于90%,因此透过λ1=632.8nm的红光同时反射
λ2=532nm的绿光,CCD均采用JAI公?#38236;?#25968;字CCD,像素大小1392*1020,
工作波段覆盖近红外可见光波段。利用斐索式双波长干涉测试装置测试时,其合
成波长相位提取方法步骤为:

步骤一:采用所搭建斐索式双波长干涉测试装置测试待测平面镜时,控制干
涉测试装置中的PZT移相器电压输出,实现按照632.8nm波长下的π/2为相移步
进量进行移相,利用CCD探测器分别采集得到一组632.8nm和532nm下的移
相干涉图;

步骤二:根据采集得到的一组632.8nm的移相干涉图求解得到632.8nm波长
下的压包相位根据一组包含移相误差的532nm移相干涉图,求解532nm
波长下的压包相位波长532nm的相位恢?#27425;?#24046;为

步骤三:根据双波长测试原理,对两种波长下的压包相位差分,可以得到其
包含移相误差的合成波长压包相位

步骤四:对包含移相误差的合成波长相位进行相位解包操作得到其解包
相位其包含的相位恢?#27425;?#24046;仍为

步骤五:利用合成波长与单波长光程差数据重合的特点,利用包含相位恢复
误差的合成波长相位值结合不含相移误差的632.8nm波长下压包相位值进
行解包得到校正后的相位值
如图3所示。

实施例2:

采用实施例1中的一种斐索式双波长干涉测试装置测试时,其合成波长相位
提取方法步骤为:

步骤一:采用所搭建斐索式双波长干涉测试装置测试待测平面镜时,控制干
涉测试装置中的PZT移相器电压输出,实现按照532nm波长下的π/2为相移步进
量进行移相,利用CCD探测器分别采集得到一组632.8nm和532nm下的移相
干涉图;

步骤二:根据采集得到的一组532nm的移相干涉图求解得到532nm波长下
的压包相位根据一组包含移相误差的632.8nm移相干涉图,求解632.8nm
波长下的压包相位波长632.8nm的相位恢?#27425;?#24046;为

步骤三:根据双波长测试原理,对两种波长下的压包相位差分,可以得到其
包含移相误差的合成波长压包相位

步骤四:对压包的合成波长相位进行相位解包操作得到其解包相位
其包含的相位恢?#27425;?#24046;仍为

步骤五:利用合成波长与单波长光程差数据重合的特点,利用包含相位恢复
误差的合成波长相位值结合不含相移误差的532nm波长下压包相位值进行
解包得到校正后的相位值
如图4所示。

图5为直接求解的到合成波长相位分布,对比图3、图4以及图5可以发现,
实施例1和实施例2中合成波长相位类似,且均优于直接求解的合成波长相位。

本发明的基于斐索式双波长干涉测试装置的合成波长相位提取方法的优点
在于:(1)与传统双波长干涉装置相比仅需要扩束准直光?#26041;?#34892;两种波长的消色
差设计,成像光路部分仅需要进行单波长设计;(2)针对传统双波长移相干涉测
试装置采用PZT移相而引起的不同波长下移相误差的问题,采用合成波长结合
单波长相位处理的方式,?#31181;?#20102;不同波长下移相误差对合成波长相位的影响;(3)
针对不同波长下的振动、多光束干涉等误差,只需采用相应算法确保其中某一波
长下的测试精度,同样可以提高合成波长相位精度;(4)由于仅需控制单个波长
下的测试精度,因此合成波长相位数据的提取过程快速简单。

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