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一种MO源灌装容器余料的回收处理装置及回收处理方法.pdf

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一种 MO 灌装 容器 回收 处理 装置 方法
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摘要
申请专利号:

CN201910097548

申请日:

20190131

公开号:

CN109578811A

公开日:

20190405

当前法律状态:

公开

有效性:

审中

法?#19978;?#24773;: 公开
IPC分类号: F17D1/04;F17D3/01 主分类号: F17D1/04;F17D3/01
申请人: 苏州普耀光电材料有限公司
发明人: 顾宏伟;茅嘉原;严金林;邓辉
地址: 215124 江苏省苏州市吴中经济开发区民丰路288号
优先权:
专利代理机构: 32293 代理人: 刘彦
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法律状态
申请(专利)号:

CN201910097548

授权公告号:

法律状态公告日:

20190405

法律状态类型:

公开

摘要

本发明公开了一种MO源灌装容器余料的回收处理装置,包括通过管路连通的溶剂罐、处理罐和MO源灌装容器,管路包括正向惰性气体管路、回收处理管路和反向惰性气体管路,溶剂罐与处理罐之间通过回收处理管路连接有多个MO源灌装容器,溶剂罐中装有有机溶剂,溶剂罐的进气口连接有正向惰性气体管路,正向惰性气体管路上连接有惰性气体控?#21697;?#21644;真空控?#21697;В?#22788;理罐的进气口连接有反向惰性气体管路,对应于溶剂罐、处理罐和每个MO源灌装容器,管路上分别设有进气阀、出气阀和中间控?#21697;А?#26412;发明还公开了MO源灌装容器中余料的回收处理方法。本发明提高了回收处理效率,?#26723;?#20102;回收处理时的安全风险和回收处理成本,提高了回收处理后MO源灌装容器的洁净度。

权利要求书

1.一种MO源灌装容器余料的回收处理装置,其特征在于:包括通过管路连通的溶剂罐、处理罐和MO源灌装容器,所述管路包括正向惰性气体管路、回收处理管路和反向惰性气体管路,所述溶剂罐与处理罐之间通过回收处理管路串联连接有多个MO源灌装容器,所述溶剂罐中装有用于溶解MO源的有机溶剂,所述溶剂罐的进气口连接有正向惰性气体管路,该正向惰性气体管路上并联连接有惰性气体控?#21697;?#21644;真空控?#21697;В?#25152;述处理罐的进气口连接有反向惰性气体管路,所述回收处理管路由多个插底管分路组成,对应于溶剂罐、处理罐和每个MO源灌装容器,所述管路上分别设有串联连接的进气阀和出气阀,对应于溶剂罐、处理罐和每个MO源灌装容器,所述管路上还分别设有一中间控?#21697;В?#35813;中间控?#21697;?#19982;串联连接的进气阀和出气阀之间呈并联设置。 2.根据权利要求1所述的一种MO源灌装容器余料的回收处理装置,其特征在于:正向惰性气体管路的出气端连接在溶剂罐的顶部进气口上,溶剂罐与第一个MO源灌装容器之间的插底管分路的一端插入到溶剂罐的底部,另一端插入?#38477;?#19968;个MO源灌装容器的底部;相邻两个MO源灌装容器之间的插底管分路靠近溶剂罐的一端连接在MO源灌装容器的顶部,远离溶剂罐的一端插入到相邻两个MO源灌装容器中的另一个MO源灌装容器的底部;处理罐与最后一个MO源灌装容器之间的插底管分路的一端插入到处理罐的底部,另一端连接到最后一个MO源灌装容器的顶部;反向惰性气体管路的出气端连接在处理罐的顶部进气口上。 3.根据权利要求1所述的一种MO源灌装容器余料的回收处理装置,其特征在于:所述正向惰性气体管路上设有压力表。 4.根据权利要求1所述的一种MO源灌装容器余料的回收处理装置,其特征在于:所述正向惰性气体管路上?#20849;?#32852;连接有一排空阀。 5.如权利要求1至4任一项所述的回收处理装置实现MO源灌装容器余料的回收处理方法,其特征在于,包括如下步骤: (1)打开正向惰性气体管路上的惰性气体控?#21697;В?#20851;闭管路上的所有进气阀和出气阀,并打开管路上的所有中间控?#21697;В?#36890;过正向惰性气体管路向整个管路打入惰性气体,惰性气体通过中间控?#21697;?#32463;过管路,将管路中的空气排出; (2)关闭惰性气体控?#21697;В?#25171;开真空控?#21697;В?#23545;回收处理装置的整个管路抽真空; (3)关?#29031;?#31354;控?#21697;В?#25171;开正向惰性气体管路上的惰性气体控?#21697;В?#21516;时关闭管路上的所有中间控?#21697;В?#25171;开所有进气阀和出气阀,通过正向惰性气体管路打入惰性气体,惰性气体通过压力将溶剂罐中的有机溶剂经由插底管分路一一注入各个MO源灌装容器,有机溶剂最终注满各个MO源灌装容器,并进入处理罐中,?#36828;运?#26377;MO源灌装容器中的MO源进行溶解; (4)关?#29031;?#21521;惰性气体管路上的惰性气体控?#21697;В?#36890;过反向惰性气体管路打入惰性气体,惰性气体通过压力将各个MO源灌装容器中的溶解有MO源的有机溶剂反向压入溶剂罐中。 6.根据权利要求5所述的MO源灌装容器余料的回收处理方法,其特征在于:经过步骤(4)后,打开排空阀,将压入溶剂罐中的溶解有MO源的有机溶剂转移到外部的接收罐中。 7.根据权利要求5所述的MO源灌装容器余料的回收处理方法,其特征在于:在整个回收处理过程中,压力表测?#31354;?#20010;管路的压力。

说明书


一种MO源灌装容器余料的回收处理装置及回收处理方法
技术领域


本发明涉及一种MO源灌装容器余料的回收处理装置及回收处理方法。


背景技术


MO源即高纯金属有机化合物,是先进的金属有机化学气相沉积(简称MOCVD)、金属
有机分子束外延(简称MOMBE)等技术生长半导体微结?#20849;?#26009;的支撑材料。由于MO源产品要
求纯度极高,而绝大多数MO源化合物对氧气、水汽极其敏感,遇空气可发生自燃,遇水可发
生爆炸,且毒?#28304;螅?#25152;以,MO源的研制是集极端条件下的合成制备、超纯纯化、超纯分析、超
纯灌装等于一体的高新技术。


MO源需要储存在一个对洁净度、密封性具有较高要求的惰性气体保护的容器罐
(即MO源灌装容器)中。目前,MO源的包装一般采用?#21046;?#30427;装,?#21046;?#30340;材质一般为316L不锈
钢,其内部进行镜面抛光。在常温下,MO源为固体颗粒,MO源在MOCVD机台使用后,需要对使
用完后的MO源灌装容器内的余料进行回收处理,以便于MO源灌装容器的再次充装。现有回
收方法一般为:在手套箱内通过人工使用金属?#35828;?#20986;固体的MO源物料,然后使用有机溶剂
在手套箱内对MO源灌装容器内的物料进行溶解处理,或者直接使用有机溶剂溶解处理。这
种方法存在如下的问题:a)人工回收对MO源灌装容器的VCR接头容易造成损伤,从而带来巨
大的容器维护成本;b))有机溶剂在手套箱内挥发对手套箱净化?#20302;?#20197;及密封?#28304;?#26469;损伤,
提高了由此带来的手套箱维护成本;c)人工操作容易出现安全风险;d)回收的MO源容?#36164;?br>到?#27425;郟档?#20102;回收净值;e)回收处理效率较低,回收处理后的灌装容器洁净度低。另外一
种方法是通过氮气直接将MO源灌装容器中的MO源压出,但利用这种方法,MO源灌装容器中
容易存在未得到清理的死角,回收处理不彻底,回收处理后的灌装容器洁净度低。


发明内容


为解决上述技术问题,本发明的目的在于提供一种MO源灌装容器余料的回收处理
装置及回收处理方法,提高了回收处理效率,?#26723;?#20102;回收处理时的安全风险和回收处理成
本,提高了回收处理后MO源灌装容器的洁净度。


为实现上述技术目的,达到上述技术效果,本发明通过以下技术方案实现:一种MO
源灌装容器余料的回收处理装置,包括通过管路连通的溶剂罐、处理罐和MO源灌装容器,所
述管路包括正向惰性气体管路、回收处理管路和反向惰性气体管路,所述溶剂罐与处理罐
之间通过回收处理管路串联连接有多个MO源灌装容器,所述溶剂罐中装有用于溶解MO源的
有机溶剂,所述溶剂罐的进气口连接有正向惰性气体管路,该正向惰性气体管路上并联连
接有惰性气体控?#21697;?#21644;真空控?#21697;В?#25152;述处理罐的进气口连接有反向惰性气体管路,所述
回收处理管路由多个插底管分路组成,对应于溶剂罐、处理罐和每个MO源灌装容器,所述管
路上分别设有串联连接的进气阀和出气阀,对应于溶剂罐、处理罐和每个MO源灌装容器,所
述管路上还分别设有一中间控?#21697;В?#35813;中间控?#21697;?#19982;串联连接的进气阀和出气阀之间呈并
联设置。


进一步的,正向惰性气体管路的出气端连接在溶剂罐的顶部进气口上,溶剂罐与
第一个MO源灌装容器之间的插底管分路的一端插入到溶剂罐的底部,另一端插入?#38477;?#19968;个
MO源灌装容器的底部;相邻两个MO源灌装容器之间的插底管分路靠近溶剂罐的一端连接在
MO源灌装容器的顶部,远离溶剂罐的一端插入到相邻两个MO源灌装容器中的另一个MO源灌
装容器的底部;处理罐与最后一个MO源灌装容器之间的插底管分路的一端插入到处理罐的
底部,另一端连接到最后一个MO源灌装容器的顶部;反向惰性气体管路的出气端连接在处
理罐的顶部进气口上。


进一步的,所述正向惰性气体管路上设有压力表。


进一步的,所述正向惰性气体管路上?#20849;?#32852;连接有一排空阀。


本发明?#22266;?#20379;了一种MO源灌装容器余料的回收处理方法,包括如下步骤:


(1)打开正向惰性气体管路上的惰性气体控?#21697;В?#20851;闭管路上的所有进气阀和出
气阀,并打开管路上的所有中间控?#21697;В?#36890;过正向惰性气体管路向整个管路打入惰性气体,
惰性气体通过中间控?#21697;?#32463;过管路,将管路中的空气排出;


(2)关闭惰性气体控?#21697;В?#25171;开真空控?#21697;В?#23545;回收处理装置的整个管路抽真空;


(3)关?#29031;?#31354;控?#21697;В?#25171;开正向惰性气体管路上的惰性气体控?#21697;В?#21516;时关闭管路
上的所有中间控?#21697;В?#25171;开所有进气阀和出气阀,通过正向惰性气体管路打入惰性气体,惰
性气体通过压力将溶剂罐中的有机溶剂经由插底管分路一一注入各个MO源灌装容器,有机
溶剂最终注满各个MO源灌装容器,并进入处理罐中,?#36828;运?#26377;MO源灌装容器中的MO源进行
溶解;


(4)关?#29031;?#21521;惰性气体管路上的惰性气体控?#21697;В?#36890;过反向惰性气体管路打入惰
性气体,惰性气体通过压力将各个MO源灌装容器中的溶解有MO源的有机溶剂反向压入溶剂
罐中。


进一步的,经过步骤(4)后,打开排空阀,将压入溶剂罐中的溶解有MO源的有机溶
剂转移到外部的接收罐中。


进一步的,在整个回收处理过程中,压力表测?#31354;?#20010;管路的压力。


本发明的有益效果是:


本发明先通过正向惰性气体管路正向打入惰性气体,利用惰性气体将管路中的空
气排出,防止MO源与氧气接触,然后抽真空,再利用惰性气体产生的压力将溶剂罐中的有机
溶?#26519;?#27493;注入各个MO源灌装容器,?#36828;运?#26377;MO源灌装容器中的MO源进行溶解,然后通过反
向惰性气体管路反向打入惰性气体,并利用惰性气体产生的压力将各个MO源灌装容器中溶
解有MO源的有机溶剂排入溶剂罐中,以实现MO源的回收处理和MO源灌装容器的清理;


本发明具有以下优点:a)避免了人工回收对MO源灌装容器的VCR接头造成的损伤,
避免由此带来的巨大的容器维护成本;b)避免了人工回收方法中有机溶剂在手套箱内挥发
对手套箱净化?#20302;?#20197;及密封?#28304;?#26469;的损伤,?#26723;?#20102;由此带来的手套箱维护的成本;c)?#26723;?br>了人工操作带来的安全风险;d)避免了回收MO源时的回收?#27425;郟?#25552;高了回收净值,带来了额
外收益;e)对MO源的回收处理比较彻底,MO源灌装容器中不存在没有清理到的死角,提高了
MO源灌装容器清洗前的洁净度,?#26723;?#20102;清洗的安全风险,提高了清洗效?#30465;?br>

附图说明


图1为MO源灌装容器余料的回收处理装置的结构示意图。


具体实施方式


下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述,以使本发明的优点和特征能
更易于被本领域技术人员理解,从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。


如图1所示,一种MO源灌装容器余料的回收处理装置,包括通过管路连通的溶剂罐
1、处理罐2和MO源灌装容器3,所述管路包括正向惰性气体管路4、回收处理管路5和反向惰
性气体管路6,所述溶剂罐1与处理罐2之间通过回收处理管路5串联连接有多个MO源灌装容
器3,所述溶剂罐1中装有用于溶解MO源的有机溶剂,所述溶剂罐1的进气口连接有正向惰性
气体管路4,该正向惰性气体管路4上并联连接有惰性气体控?#21697;?和真空控?#21697;?,所述处
理罐2的进气口连接有反向惰性气体管路6,所述回收处理管路5由多个插底管分路组成,对
应于溶剂罐1、处理罐2和每个MO源灌装容器3,所述管路上分别设有串联连接的进气阀9和
出气阀10,对应于溶剂罐1、处理罐2和每个MO源灌装容器3,所述管路上还分别设有一中间
控?#21697;?1,该中间控?#21697;?1与串联连接的进气阀9和出气阀10之间呈并联设置。


正向惰性气体管路4的出气端连接在溶剂罐1的顶部进气口上,溶剂罐1与第一个
MO源灌装容器3之间的插底管分路的一端插入到溶剂罐1的底部,另一端插入?#38477;?#19968;个MO源
灌装容器3的底部;相邻两个MO源灌装容器3之间的插底管分路靠近溶剂罐1的一端连接在
MO源灌装容器3的顶部,远离溶剂罐1的一端插入到相邻两个MO源灌装容器中的另一个MO源
灌装容器3的底部;处理罐2与最后一个MO源灌装容器3之间的插底管分路的一端插入到处
理罐2的底部,另一端连接到最后一个MO源灌装容器3的顶部;反向惰性气体管路6的出气端
连接在处理罐2的顶部进气口上。


进一步说,正向惰性气体管路4上还设有压力表12。


进一步说,正向惰性气体管路4上?#20849;?#32852;连接有一排空阀13。


另外,管路上还串联有多个关断阀14。


本发明?#22266;?#20379;了一种MO源灌装容器余料的回收处理方法,包括如下步骤:


(1)打开正向惰性气体管路4上的惰性气体控?#21697;?,关闭管路上的所有进气阀9和
出气阀10,并打开管路上的所有中间控?#21697;?1和关断阀14,通过正向惰性气体管路4向整个
管路打入惰性气体(氮气),惰性气体通过中间控?#21697;?1经过管路,将管路中的空气排出;


(2)关闭惰性气体控?#21697;?,打开真空控?#21697;?,利用真空泵对回收处理装置的整个
管路抽真空;


(3)关?#29031;?#31354;控?#21697;?,打开正向惰性气体管路4上的惰性气体控?#21697;?,同时关闭
管路上的所有中间控?#21697;?1,打开所有进气阀9和出气阀10,通过正向惰性气体管路4打入
惰性气体,惰性气体通过压力将溶剂罐1中的有机溶剂经由插底管分路一一注入各个MO源
灌装容器3中,有机溶剂最终注满各个MO源灌装容器3,并进入处理罐2中,?#36828;运?#26377;MO源灌
装容器3中的MO源进行溶解;


(4)关?#29031;?#21521;惰性气体管路4上的惰性气体控?#21697;?,通过反向惰性气体管路6反向
打入惰性气体,惰性气体通过压力将各个MO源灌装容器3中的溶解有MO源的有机溶剂反向
压入溶剂罐中1。


在经过步骤(4)后,打开排空阀13,将压入溶剂罐中的溶解有MO源的有机溶剂转移
到外部的接收罐中,完成对MO源灌装容器中MO源的回收处理。


在整个回收处理过程中,压力表可以测?#31354;?#20010;管路的压力。


与现有技术相比,本发明具有以下优点:a)避免了人工回收对MO源灌装容器的VCR
接头造成的损伤,避免由此带来的巨大的容器维护成本;b)避免了人工回收方法中有机溶
剂在手套箱内挥发对手套箱净化?#20302;?#20197;及密封?#28304;?#26469;的损伤,?#26723;?#20102;由此带来的手套箱维
护的成本;c)?#26723;?#20102;人工操作带来的安全风险;d)避免了回收MO源时的回收?#27425;郟?#25552;高了回
收净值,带来了额外收益;e)对MO源的回收处理比较彻底,MO源灌装容器中不存在没有清理
到的死角,提高了MO源灌装容器清洗前的洁净度,?#26723;?#20102;清洗的安全风险,提高了清洗效
?#30465;?br>

以上所述仅为本发明的实施例,并?#19988;?#27492;限制本发明的专利范围,凡是利用本发
明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技
术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。


关于本文
本文标题:一种MO源灌装容器余料的回收处理装置及回收处理方法.pdf
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